縱觀(guān)半導體設備的發(fā)展歷史，不難發(fā)現半導體設備緊隨芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

隨著(zhù)中國制造技術(shù)的不斷發(fā)展，與本身龐大的市場(chǎng)需求相互幫襯，未來(lái)十年，中國有望成為半導體芯片制造的中心。

目前，在國家重大科技專(zhuān)項的支持下，集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質(zhì)刻蝕機、CMP等技術(shù)均有顯著(zhù)提升。而IC晶圓生產(chǎn)線(xiàn)的設備國產(chǎn)化率也在不斷提高。設備技術(shù)的提升也拉高了對光學(xué)傳感器性能的需求。除了對精度、穩定性等性能要達到*的標準外，傳感器也被要求實(shí)現更多的檢測任務(wù)。

作為有著(zhù)超過(guò)75年歷史的工業(yè)傳感器生產(chǎn)廠(chǎng)商，SICK具有深厚的技術(shù)積累，豐富的產(chǎn)品種類(lèi)，可以為半導體設備廠(chǎng)商提供更多樣的產(chǎn)品、更優(yōu)異的性能以及更專(zhuān)業(yè)的服務(wù)。

1、硅板厚度測量

產(chǎn)品系列：OD5000位移測量傳感器 訂貨號：6063621

客戶(hù)應用:太陽(yáng)能硅片分選機，客戶(hù)需求在皮帶輸送線(xiàn)上檢測硅片的厚度，精度要求為2um

采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來(lái)測量硅片的厚度

客戶(hù)利用上位機接受數據做算法處理，判定硅片的規格

客戶(hù)受益:

雙頭側厚，通過(guò)以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內部評價(jià)單元，無(wú)需額外控制器計算

高達80kHZ測量頻率，準確測量微小變化

激光定位更加柔性，可視覺(jué)，產(chǎn)品定位精度更高

實(shí)時(shí)在線(xiàn)測量，相對于線(xiàn)激光方案，節省成本，精度更高

2、石英載具到位檢測

產(chǎn)品系列：WTF12G 訂貨號：1065719

客戶(hù)應用：石英載具裝載硅片進(jìn)行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

需要對半透明石英載具進(jìn)行穩定到位檢測，由于熱處理中溫度較高，無(wú)法安裝反射板，只能選擇漫反射。

檢測距離較遠，無(wú)法使用V鏡頭光電傳感器。

客戶(hù)受益：

WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無(wú)需反射板，只需對背景進(jìn)行示教即可

可以穩定地檢測透明、半透明等物體

檢測距離可達700mm